Ни Зо ИСПОЛЬЗОВАНИЕ НЕЧЕТКИХ РЕГУЛЯТОРОВ В СИСТЕМАХ УПРАВЛЕНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИМИ ПРОЦЕССАМИ ПРИ ПРОИЗВОДСТВЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МИКРОСХЕМ // Автоматизация и управление в технических системах. – 2012. – № 2;
URL: auts.esrae.ru/ru/2-18 (дата обращения:
23.12.2024).